石墨治具的使用要求

石墨治具的使用要求
    石墨治具是用于在半導(dǎo)體制造過(guò)程中承載、固定和維護(hù)芯片的石墨制件。在使用過(guò)程中，需要滿(mǎn)意以下要求：
    1.石墨治具應(yīng)具有杰出的導(dǎo)熱性能，以確保芯片在作業(yè)過(guò)程中散熱杰出。
    2.石墨治具的外表應(yīng)光滑、平整，無(wú)劃痕或凸起，避免對(duì)芯片形成損傷。
    3.石墨治具的規(guī)劃應(yīng)契合所承載的芯片尺寸和形狀，以確保其穩(wěn)定性和承載才能。
    4.使用前應(yīng)對(duì)石墨治具進(jìn)行預(yù)熱處理，以削減熱沖擊對(duì)其的影響。
    5.使用后應(yīng)對(duì)石墨治具進(jìn)行清潔和維護(hù)，以堅(jiān)持杰出的作業(yè)狀況和延長(zhǎng)其使用壽命。